Láminas delgadas y recubrimientos: Preparación, propiedades y aplicaciones

absorción activación además alcanzar alta análisis ángulo átomos aumenta baja banda base blanco bomba cambio campo capas delgadas capítulo características carga cátodo ción compuestos condiciones conocer considerar continua control corriente crecimiento dado debido decir densidad depende deposición depósito desarrollo descarga determinado diferentes dispositivos distintos efecto ejemplo eléctrico electrones elementos elevada ello embargo emisión energía enlace especies espectro espesor Esquema están estructura estudio evaporación excitación existe fase figura formación fotones fuente función generación importante incidente índice intensidad interacción intercara iones láminas límite llegada longitud magnético material mecánicas mediante medida medio menor metales métodos modo moléculas muestra necesario nivel número observa obtener ópticas orden óxido película pequeña permite plano plasma posible potencial presentan presión proceso produce propiedades punto química radiación rayos reacción realiza recubrimientos región relación resultados silicio sistema sputtering substrato suele superficie técnicas temperatura tensiones térmica típico tipo través utilización vacío valor velocidad zona